谐振式静电场传感器技术、应用及前沿进展
编号:95
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更新:2025-09-11 18:27:48
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主旨报告
摘要
电场是一个重要的基础电学参量。静电场传感器广泛应用于航天、航空、电力、工业生产及气象等多个领域。在微机电系统式(MEMS)及振动电容式等静电场传感器中,对谐振敏感元件的振幅、频率、噪声及信号解调方法等进行优化设计,可显著增强传感器性能。本工作首先介绍谐振式静电场传感器的基本原理及技术,研制静电场传感器系统的工程化应用。之后介绍基于模态局域化效应、非线性振动等前沿技术的新型静电场传感器,显著提升了测量范围、分辨力及品质因数等性能指标,具有广阔的应用前景。
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