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溶液法制备的薄膜晶体管迟滞稳定性研究

薄膜晶体管,迟滞稳定性,溶液法

薄膜晶体管工业应用中最重要的缺陷是器件与空气中的水和氧反应，影响了器件的稳定性，但是之前报道的器件稳定性研究主要集中在偏压和光照下稳定性，至今为止还没有研究人员对溶液法制备的器件迟滞稳定性模型进行系统研究。本文首次定义了迟滞变化量，并用普适性的器件迟滞稳定性数学模型来比较研究不同退火温度下和界面材料之间的器件时效稳定性，首次得出了以下结论：同一有源层和介电层之间形成的器件，其迟滞稳定性函数曲线形状基本一致，与有源层退火温度无关，不同的有源层退火温度只会影响迟滞变化量，迟滞稳定性函数曲线形状可以用来预测器件在空气时效过程中的迟滞变化。