聚醚醚酮（Polyether ether ketone，PEEK）是一种全芳香族半结晶的热塑性特种工程材料，具有机械强度高、耐腐蚀性、阻燃性和耐蠕变等优点，广泛应用于航空航天、汽车工业、电子信息和食品加工等领域。但其存在力学、耐磨性不足等缺陷，限制了PEEK的应用范围。采用等离子体技术在其表面沉积类金刚石（Diamond-like Carbon，DLC）薄膜可解决上述问题。然而，由于DLC薄膜内应力较高，且力学、热膨胀系数等物化性能与PEEK存在巨大差异，使得两者界面结合力较弱，协同形变能力差，导致薄膜易剥落、抗弯压疲劳能力差，一直是制约DLC薄膜改善PEEK性能的主要瓶颈。本研究采用线性离子束技术，通过改变Ar刻蚀时间来改善PEEK表面沉积DLC薄膜的微结构与性能。研究表明，随着Ar等离子体刻蚀时间的增加（0~10 min），高能Ar⁺的轰击作用使PEEK表面逐渐形成了显著的菜花状结构。随着处理时间的继续增加（10~20 min），这种菜花状结构变得更加密集。采用X切割法表征，发现刻蚀时间的增加能够显著提高DLC薄膜在PEEK表面的结合力。TEM结果证实，Ar⁺的刻蚀作用使PEEK与DLC薄膜界面产生了微纳米的互锁结构，从而有利于提升两者粘结力。本研究为实现PEEK与DLC薄膜强结合提供了一种简便的设计思路。

聚醚醚酮；类金刚石薄膜；等离子体刻蚀；界面结合