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基于硫化锡纳米片的声表面二氧化氮气体传感器
编号：64 访问权限：仅限参会人 更新：2021-11-24 09:18:16 浏览：209次 口头报告

报告开始：暂无开始时间（Asia/Shanghai）

报告时间：暂无持续时间

所在会场：[暂无会议] [暂无会议段]

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摘要
由于声表面波（surface acoustic wave，SAW）无限无源的特性，SAW气体传感器在实时气体探测方面展示了出巨大的应用潜力。用旋涂工艺将合成的SnS2纳米片集成到基于石英基底延迟线型SAW器件上。最终制备出可在较低温度（120℃）下探测ppb级别的NO2声表面波气体传感器。传感器在最佳工作温度（120℃）下对1 ppm NO2气体达到了5.4 kHz的频率漂移，响应及恢复时间分别为10 s和236 s，其理论检测极限可达6 ppb，所制备的传感器表现出良好的选择性和稳定性。最后探讨了基于SnS2的SAW气体传感器气敏响应机理。
 
关键词
声表面波；硫化锡；纳米片；二氧化氮；气体传感器
报告人
周楷尧
深圳大学

稿件作者
周楷尧 深圳大学
阚皞 深圳大学
马少敏 深圳大学
罗景庭 深圳大学
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重要日期

  • 会议日期

    12月15日

    2023

    至

    12月17日

    2023

  • 11月30日 2023

    初稿截稿日期

  • 03月08日 2024

    注册截止日期

主办单位
中国真空学会薄膜专业委员会
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