ta-C薄膜的高温摩擦机理研究
编号:74 访问权限:仅限参会人 更新:2021-11-24 09:22:10 浏览:430次 口头报告

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摘要
本文研究了四面体非晶碳(ta-C)薄膜的高温摩擦性能。研究结果表明具有软、硬子层交替结构的多层ta-C薄膜在400 ℃下具有低摩擦系数(0.14),但在4600圈时突然失效。其磨损失效归因于接触区域ta-C薄膜的逐渐消耗。软/硬顶层的设计有效调节了多层ta-C薄膜的高温摩擦性能。添加硬顶层有助于获得低摩擦系数(0.11)和较小的磨损率(4.0×10-7 mm3/Nm),而添加软顶层则损伤了润滑效果。由此推测,在高温下,ta-C薄膜的低摩擦机制主要由悬挂键的钝化主导,而摩擦引起的石墨化和富sp2碳质转移膜将诱发滑动界面处形成C-C键,导致严重的粘附力和润滑失效。此外,具有硬顶层的多层ta-C薄膜在500 ℃以下获得了优异的摩擦性能,而高温诱导的碳原子氧化和挥发导致了其在600 ℃时的磨损失效。
关键词
ta-C,多层结构,高温摩擦,磨损机理
报告人
魏菁
中国科学院宁波材料技术与工程研究所

稿件作者
魏菁 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
汪爱英 中科院宁波材料所
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重要日期
  • 会议日期

    12月15日

    2023

    12月17日

    2023

  • 11月30日 2023

    初稿截稿日期

  • 03月08日 2024

    注册截止日期

主办单位
中国真空学会薄膜专业委员会
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