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54
薄膜表面粗糙度的多尺度现象与分形分析研究摘要录用

冯峰*, 周文萌

#薄膜物理理论与技术基础

53
磁场对优化矩形磁控阴极结构模拟研究摘要录用

邓方昱, 蔺增*, 张家乐, 刘兴龙, 孙嘉琦, 王健

#薄膜物理理论与技术基础

    2 条记录 1/1页
重要日期
  • 会议日期

    12月15日

    2023

    12月17日

    2023

  • 11月30日 2023

    初稿截稿日期

  • 03月08日 2024

    注册截止日期

主办单位
中国真空学会薄膜专业委员会
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